Sprzęt serii CMP opracowany niezależnie przez LSTD dostarcza producentów materiałów półprzewodnikowych, takich jak SI, SIC, GAAS, LNP, GAN, CDTE, Diamond itp. Sprzęt do recyklingu opłatek wprowadził wiele firm produkcyjnych półprzewodników, takich jak SMIC; Zautomatyzowana linia produkcyjna do polerowania węglików krzemu zostanie dostarczona do fabryki klienta w celu produkcji próbnej w Q 1 2024;
Na podstawie oryginalnego laboratorium miliony juanów zostaną zainwestowane w budowę 100000 poziomów, 10000 poziomów oraz 100 poziomów czystej pomieszczenia i precyzyjnych urządzeń do testowania, które zostaną sprawdzone i wykorzystane w drugiej połowie 2024 r.
Linia polerowania opłat 6 "/8"
Wafel 6 "/8"
Klasa czyszcząca 100
Wielozadaniowa maszyna czyszcząca
Pojemność kontroli
